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Impact of annealing, surface/strain energy and linewidth to line spacing ratio on texture evolution in damascene Cu interconnects;
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Kabirkumar Mirpuri and Jerzy Szpunar
Pág. 107 - 122
Revista:
MATERIALS CHARACTERIZATION
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 54 Num: 2 Par: 0 Año: 2005
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