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Flux and energy analysis of species in hollow cathode magnetron ionized physical vapor deposition of copper

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L. Wu, E. Ko, A. Dulkin, K. J. Park, S. Fields, K. Leeser, L. Meng, and D. N. Ruzic

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 12 Par: 0 Año: 2010

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