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Development of a spatially controllable chemical vapor deposition reactor with combinatorial processing capabilities
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J. O. Choo, R. A. Adomaitis, L. Henn-Lecordier, Y. Cai, and G. W. Rubloff
Pág. -
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 76 Num: 6 Par: 0 Año: 2005
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