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Ion beam milling fabrication of a small off-axis ellipsoidal mirror, diffraction limited to 1 µm resolution at 14 nm

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Mercier, Raymond; Mullot, Michel; Lamare, Michel; Tissot, Ge´rard Pág. 1559 - 1564

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 72 Num: 2 Par: 0 Año: 2001

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