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High resolution planar encoder by retro-reflection

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Ching-Fen Kao, Sheng-Hua Lu, and Mao-Hong Lu Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 8 Par: 0 Año: 2005

Overlay metrological system for overlaid linear gratings by an interferoscatterometer

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Deh-Ming Shyu and Mao-Hong Lu Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 8 Par: 0 Año: 2005

High sensitivity bulk electro-optic modulator field sensor for high voltage environments

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Mao-Sheng Huang, Mao-Hong Lu, and Jow-Tsong Shy Pág. 5364 - 5366

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 75 Num: 12 Par: 0 Año: 2004

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