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300 mm reference wafer fabrication by using direct laser lithography

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Hyug-Gyo Rhee, Dongik Kim, Seung-Ki Hong, and Yun-Woo Lee

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 10 Par: 0 Año: 2008

A voice coil actuator driven active vibration isolation system with the consideration of flexible modes

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Kyihwan Park, Dongyoub Choi, Abdullah Ozer, Sangyoo Kim, Yongkwan Lee, and Dongik Joo

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 6 Par: 0 Año: 2008

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