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SPECIAL SECTION ON NEAR-FIELD OPTICS IMAGING - Invited Paper - Failure Analysis of Integrated Circuits Beyond the Diffraction Limit: Contact Mode Near-Field Scanning Optical Microscopy with Integrated Resistance, Capacitance, and UV Confocal Imaging
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Lewis, A; Shambrot, E; Radko, A; Lieberman, K; Ezekiel, S; Veinger, D; Yam
Pág. 1471 - 1479
Revista:
PROCEEDINGS OF THE IEEE
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 88 Num: 9 Par: 0 Año: 2000
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