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Ultrahigh vacuum glancing angle deposition system for thin films with controlled three-dimensional nanoscale structure

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Robbie, K. Beydaghyan, G. Brown, T. Dean, C. Adams, J. Buzea, C. Pág. 1089 - 1097

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 75 Num: 4 Par: 0 Año: 2004

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