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Revisiting the Removal Rate Model for Oxide CMP

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Jamshid Sorooshian, Leonard Borucki, David Stein, Robert Timon, Dale Hetherington, and Ara Philipossian Pág. 639 - 651

Revista: JOURNAL OF TRIBOLOGY Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 127 Num: 3 Par: 0 Año: 2005

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