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Generation of a boron ion beam in a modified ion source for semiconductor applications

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V. I. Gushenets, A. S. Bugaev, E. M. Oks, G. Yu. Yushkov, Ady Hershcovitch, B. M. Johnson, T. V. Kulevoy, H. J. Poole, and A. Ya. Swarovsky

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

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