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Motion error compensation of a mechanical contact spindle using a multi-degree-of-freedom micropositioning stage

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Takaaki Oiwa, Katsumi Kaneko, and Akira Kyusojin Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 2 Par: 0 Año: 2005

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