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Surface Micromachined Microelectromechancial Ohmic Series Switch Using Thin-Film Piezoelectric Actuators

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Polcawich, R.G.; Pulskamp, J.S.; Judy, D.; Ranade, P.; Trolier-McKinstry, S.; Dubey, M. Pág. 2642 - 2654

Revista: IEEE TRANSACTIONS ON MICROWAVE THEORY AND TECHNIQUES Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 55 Num: 12 Par: 1/2 Año: 2007

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