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Experiment Research on Micro-/Nano Processing Technology of Graphite as Basic MEMS Material
Acceso
en línea
Cheng Zhang, Yijin Liu, Mingge Wu and Ningbo Liao
This study may promote graphite to become a basic MEMS material, which is significant for the expansion of the scope and field of MEMS applications.
Revista:
Applied Sciences
Formato:
Electrónico
Tabla de contenido:
Vol: 9 Num: 0 Par: 15 Año: 2019
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