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The implementation of neural network for semiconductor PECVD process

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Wen-Chin Chen, Amy H.I. Lee, Wei-Jaw Deng and Kan-Yuan Pág. 1148 - 1153

Revista: EXPERT SYSTEMS WITH APPLICATIONS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 32 Num: 4 Par: 0 Año: 2007

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