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A high-voltage scanning electron microscopy system for in situ electromigration testing

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Doan, J. C.; Lee, S.; Lee, S.-H.; Meier, N. E.; Bravman, J. C.; Flinn, Pág. 2848 - 2854

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 71 Num: 7 Par: 0 Año: 2000

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