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High-throughput analysis of thin-film stresses using arrays of micromachined cantilever beams

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Hyun-Jong Kim, Jun-Hyun Han, Roy Kaiser, Kyu Hwan Oh, and Joost J. Vlassak

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 4 Par: 0 Año: 2008

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