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Mechanical characterization of chemical-vapor-deposited polycrystalline 3C silicon carbide thin films

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Sharvani Nagappa, Marc Zupan, C.A. Zorman Pág. 995 - 998

Revista: SCRIPTA MATERIALIA Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 59 Num: 9 Par: 0 Año: 2008

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