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Haili Zhao, Jingpei Xie and Aixia Mao    
Most of the molybdenum (Mo) bilayer films are deposited by direct current (DC) magnetron sputtering at the bottom and the top layer (DC/DC). However, the deposition of Mo bilayer film by radio frequency (RF) Mo bottom layer and DC Mo top layer magnetron ... ver más
Revista: Applied Sciences    Formato: Electrónico

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