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Compact UHV system for fabrication and in situ analysis of electron beam deposited structures using a focused low energy electron beam
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Y. Kakefuda, Y. Yamashita, K. Mukai, and J. Yoshinobu
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 77 Num: 5 Par: 0 Año: 2006
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