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Simulation of gridded broad-beam ion sources for ultra-precise surface processing

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St. Jankuhn, F. Scholze, E. Hartmann, and H. Neumann

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

Ion current density profile control of a scalable linear ion source and its application

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F. Scholze, H. Neumann, M. Tartz, J. Dienelt, and H. Schlemm

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 77 Num: 3 Par: 0 Año: 2006

Spatial and spectral characterization of a laser produced plasma source for extreme ultraviolet metrology

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H. Legall, H. Stiel, U. Vogt, H. Schönnagel, P.-V. Nickles, J. Tümmler, F. Scholz, and F. Scholze Pág. 4981 - 4988

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 75 Num: 11 Par: 0 Año: 2004

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