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Precise selective deposition of microparticles on electrodes of microelectronic chips

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Alexander Nesterov, Kai König, Thomas Felgenhauer, Volker Lindenstruth, Ulrich Trunk, Simon Fernandez, Michael Hausmann, F. Ralf Bischoff, Frank Breitling, and Volker Stadler

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 3 Par: 0 Año: 2008

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