AVANZADA

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Retarding field analyzer for ion energy distribution measurements at a radio-frequency biased electrode

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D. Gahan, B. Dolinaj, and M. B. Hopkins

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 3 Par: 0 Año: 2008

In-line sensor for accurate rf power measurements

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D. Gahan and M. B. Hopkins

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 10 Par: 0 Año: 2005

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