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Technologies for Cofabricating MEMS and Electronics
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Fedder, G.K.; Howe, R.T.; Tsu-Jae King Liu; Quevy, E.P.
Pág. 306 - 322
Revista:
PROCEEDINGS OF THE IEEE
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 96 Num: 2 Par: 0 Año: 2008
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