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Optical coherence tomography for process control of laser micromachining

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Markus Wiesner, Jürgen Ihlemann, Heike H. Müller, Eva Lankenau, and Gereon Hüttmann

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 3 Par: 0 Año: 2010

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