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A capacitive probe with shaped probe bias for ion flux measurements in depositing plasmas
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M. C. Petcu, A. C. Bronneberg, A. Sarkar, M. A. Blauw, M. Creatore, and M. C. M. van de Sanden
Revista:
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 79 Num: 11 Par: 0 Año: 2008
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