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Influence of nitrogen concentration on grain growth, structural and electrical properties of sputtered aluminum nitride films
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J.P. Kar, G. Bose and S. Tuli
Pág. 1755 - 1759
Revista:
SCRIPTA MATERIALIA
Formato:
Impreso
Tabla de contenido:
Vol: 54 Num: 10 Par: 0 Año: 2006
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