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Optimal design of a flexure hinge-based XYZ atomic force microscopy scanner for minimizing Abbe errors

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Dongmin Kim, Dongwoo Kang, Jongyeop Shim, Incheon Song, and Daegab Gweon Pág. -

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 76 Num: 7 Par: 0 Año: 2005

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