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Method for the study of semiconductor device operation using scanning capacitance microscopy

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Nakakura, C. Y. Tangyunyong, P. Hetherington, D. L. Shaneyfelt, M. R. Pág. 127 - 133

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 74 Num: 1 Par: 1 Año: 2003

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