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Mechanical characterization of thin TiO2 films by means of microelectromechanical systems-based cantilevers

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A. Adami, M. Decarli, R. Bartali, V. Micheli, N. Laidani, and L. Lorenzelli

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 1 Par: 0 Año: 2010

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