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Quantitative analysis of physical and chemical changes in CMP polyurethane pad surfaces

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Lu, H. Fookes, B. Obeng, Y. Machinski, S. Richardson, K. A. Pág. 35 - 44

Revista: MATERIALS CHARACTERIZATION Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 49 Num: 1 Par: 0 Año: 2002

Applicability of dynamic mechanical analysis for CMP polyurethane pad studies

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Lu, H. Obeng, Y. Richardson, K. A. Pág. 177 - 186

Revista: MATERIALS CHARACTERIZATION Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 49 Num: 2 Par: 0 Año: 2002

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