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Spatial and spectral characterization of a laser produced plasma source for extreme ultraviolet metrology

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H. Legall, H. Stiel, U. Vogt, H. Schönnagel, P.-V. Nickles, J. Tümmler, F. Scholz, and F. Scholze Pág. 4981 - 4988

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 75 Num: 11 Par: 0 Año: 2004

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