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Design of an atomic layer deposition reactor for hydrogen sulfide compatibility

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Neil P. Dasgupta, James F. Mack, Michael C. Langston, Al Bousetta, and Fritz B. Prinz

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 81 Num: 4 Par: 0 Año: 2010

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