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Inspection and Classification of Semiconductor Wafer Surface Defects Using CNN Deep Learning Networks

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Jong-Chih Chien, Ming-Tao Wu and Jiann-Der Lee

To detect and classify semiconductor wafer defects in order to help determine the cause(s) of the defects.

Revista: Applied Sciences Formato: Electrónico

Tabla de contenido: Vol: 10 Num: 0 Par: 15 Año: 2020

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