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A two magnetron sputter deposition chamber for in situ observation of thin film growth by synchrotron radiation scattering

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Matz, W.; Schell, N.; Neumann, W.; Bøttiger, J.; Chevallier, J. Pág. 3344 - 3348

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 72 Num: 8 Par: 0 Año: 2001

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