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Realization and performance evaluation of high speed autofocusing for direct laser lithography

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Hyug-Gyo Rhee, Dong-Ik Kim, and Yun-Woo Lee

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 80 Num: 7 Par: 0 Año: 2009

300 mm reference wafer fabrication by using direct laser lithography

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Hyug-Gyo Rhee, Dongik Kim, Seung-Ki Hong, and Yun-Woo Lee

Revista: REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS Formato: Impreso

Tabla de contenido: Vol: 79 Num: 10 Par: 0 Año: 2008

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