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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 73 Núm: 5 Par: 0 (2002) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

A facility for characterizing the dynamic mechanical behavior of thin membranes for microelectromechanical systems

Hall

J. D. Apperson

N. E. Crozier

B. T. Xu

C. Richards

R. F. Bahr

D. F. Richards

C. D.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 2067 - 2072

NÚMERO

Volumen: 73 Número: 5 Parte: 0 (2002)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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