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PROCEEDINGS OF THE IEEE
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Vol: 89 Núm: 3 Par: 0 (2001)
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ARTÍCULO
TITULO
Limits of Integrated-Circuit Manufacturing (Invited Paper)
Doering
R
Nishi
Y
Resumen
No disponible
PÁGINAS
pp. 375 - 393
NÚMERO
Volumen: 89 Número: 3 Parte: 0 (2001)
MATERIAS
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