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Vol: 81 Núm: 12 Par: 0 (2010)
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TITULO
Effect of tip shape on line edge roughness measurement based on atomic force microscopy
Ning Li
Fei Wang
and Xuezeng Zhao
Resumen
No disponible
PÁGINAS
pp. 0 - 0
NÚMERO
Volumen: 81 Número: 12 Parte: 0 (2010)
MATERIAS
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