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SCRIPTA MATERIALIA

Inicio / SCRIPTA MATERIALIA / Vol: 59 Núm: 11 Par: 0 (2008) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Formation of nanocrystals embedded in a silicon nitride film at a low temperature (200 °C)

Kyoung-Min Lee

Tae-Hwan Kim

Wan-Shick Hong

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 1190 - 1192

NÚMERO

Volumen: 59 Número: 11 Parte: 0 (2008)

MATERIAS

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