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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
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Vol: 81 Núm: 12 Par: 0 (2010)
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ARTÍCULO
TITULO
Flux and energy analysis of species in hollow cathode magnetron ionized physical vapor deposition of copper
L. Wu
E. Ko
A. Dulkin
K. J. Park
S. Fields
K. Leeser
L. Meng
and D. N. Ruzic
Resumen
No disponible
PÁGINAS
pp. 0 - 0
NÚMERO
Volumen: 81 Número: 12 Parte: 0 (2010)
MATERIAS
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