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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 71 Núm: 5 Par: 0 (2000) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

A two-axis micromachined silicon actuator with micrometer range electrostatic actuation and picometer sensitive capacitive detection

Ayela

F.

Bret

J. L.

Chaussy

J.

Fournier

T.

Me´

ne´

gaz

E.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 2211 - 2218

NÚMERO

Volumen: 71 Número: 5 Parte: 0 (2000)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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