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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 74 Núm: 5 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Improved planar radio frequency inductively coupled plasma configuration in plasma immersion ion implantation

Tang

D. L. Fu

R. K. Y. Tian

X. B. Chu

P. K.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 2704 - 2708

NÚMERO

Volumen: 74 Número: 5 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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