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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 74 Núm: 11 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Heterodyne interferometric technique for displacement control at the nanometric scale

Topcu

S. Chassagne

L. Haddad

D. Alayli

Y. Juncar

P.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 4876 - 4880

NÚMERO

Volumen: 74 Número: 11 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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