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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 74 Núm: 11 Par: 0 (2003) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

A scatterometer for measuring the bidirectional reflectance and transmittance of semiconductor wafers with rough surfaces

Shen

Y. J. Zhu

Q. Z. Zhang

Z. M.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 4885 - 4892

NÚMERO

Volumen: 74 Número: 11 Parte: 0 (2003)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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