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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 75 Núm: 6 Par: 0 (2004) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Realization of nanoscale resolution with a micromachined thermally actuated testing stage

Lu

S. Dikin

D. A. Zhang

S. Fisher

F. T. Lee

J. Ruoff

R. S.

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. 2154 - 2162

NÚMERO

Volumen: 75 Número: 6 Parte: 0 (2004)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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