REVISTA
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 76 Núm: 7 Par: 0 (2005) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Passive compliant wafer stage for single-step nano-imprint lithography

Kee-Bong Choi and Jae Jong Lee

Resumen

No disponible

PÁGINAS

pp. -

NÚMERO

Volumen: 76 Número: 7 Parte: 0 (2005)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

REVISTAS SIMILARES

Aerospace

Artículos similares

Revistas destacadas

Acceso directo a los números publicados en la revista Infrastructures

Infrastructures

Acceso directo a los números publicados en la revista Informed Infraestructure

Informed Infraestructure

Acceso directo a los números publicados en la revista BiT

BiT

Acceso directo a los números publicados en la revista Revista de la Construcción

Revista de la Construcción

Ver todas las revistas