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Vol: 74 Núm: 7 Par: 0 (2003)
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ARTÍCULO
TITULO
Characterization of a high-density electron-cyclotron resonance plasma source operating in nitrogen
Toader
E. I. Fredriksen
A. Aanesland
A.
Resumen
No disponible
PÁGINAS
pp. 3279 - 3283
NÚMERO
Volumen: 74 Número: 7 Parte: 0 (2003)
MATERIAS
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