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REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS

Inicio / REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS / Vol: 77 Núm: 3 Par: 0 (2006) / Artículo

ARTÍCULO

TITULO

Ion-beam lithography by use of highly charged Ar-ion beam

Sadao Momota

Shingo Iwamitsu

Shougo Goto

Yoichi Nojiri

Jun Taniguchi

Iwao Miyamoto

Hirohisa Ohno

Noboru Morita

and Noritaka Kawasegi

Resumen

No disponible

PÁGINAS

NÚMERO

Volumen: 77 Número: 3 Parte: 0 (2006)

MATERIAS

INGENIERÍA Y CONSTRUCCIÓN CIVIL

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