ARTÍCULO
TITULO

Negative-ion implantation into thin SiO2 layer for defined nanoparticle formation

Hiroshi Tsuji    
Nobutoshi Arai    
Naoyuki Gotoh    
Takashi Minotani    
Toyoji Ishibashi    
Tetsuya Okumine    
Kouichiro Adachi    
Hiroshi Kotaki    
Yasuhito Gotoh    
and Junzo Ishikawa    

Resumen

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