ARTÍCULO
TITULO

Electron cyclotron resonance plasma source by using Ku-band traveling-wave tube amplifier for broad ion-beam processing

Toyohisa Asaji    
Hiroshi Sasaki    
Yushi Kato    
Fuminobu Sato    
Toshiyuki Iida    
and Junji Saito    

Resumen

No disponible

 Artículos similares

       
 
H. Y. Zhou, L. Wang, X. D. Zhu, B. Ke, F. Ding, X. H. Wen, and Y. N. Wang    

 
A. Méry, P. Jardin, J. Alcántara-Núñez, M. G. Saint-Laurent, O. Bajeat, P. Delahaye, M. Dubois, H. Frånberg-Delahaye, P. Lecomte, P. Lehérissier, L. Maunoury, A. Pichard, J. Y. Pacquet, and J. C. Thomas     Pág. 02A904

 
J. S. Kim, L. Zhao, B. P. Cluggish, S. A. Galkin, J. E. Grubert, R. C. Pardo, and R. C. Vondrasek     Pág. 02A905

 
L. Latrasse, M. Marie-Jeanne, T. Lamy, T. Thuillier, J. Giraud, C. Fourel, C. Trophime, F. Debray, P. Sala, and J. Dumas     Pág. 02A324

 
K. E. Stiebing, L. Schachter, and S. Dobrescu     Pág. 02A326